标签：紫外线

2016-11-02chendan0603阅读(319)评论(0)

要跟上摩尔定律预言的晶体管密度步伐，芯片制造商正面临越来越大的技术障碍。如今主要芯片制造商如英特尔、台积电和全球晶圆（GlobalFoundries）正在考虑采用超紫外线蚀刻技术。超紫外线蚀刻扫描仪使用的激光波长不到今天最先进机器的十分之一...